株式会社ノア リーディング

一般的にゴム表面へのメッキは難しいと言われてきました。しかし弾性体であるゴム表面に導電性を有することで、安
定的な電気的な導通を確保することが可能になります。

例えば、プラズマ装置におけるプラズマ電極周りやグランドラインの取り回しなど、取り付け部品の着脱部には電位を
一定に保つための工夫が必要です。これまではスパイラル状の金属コイルなどが用いられてきましたが、弾性体ではな
いため繰り返し接触時の電位が変化する問題や、再装着時の未接触などの不具合が多発していました。

このような電気的な接続不良が生じるとプラズマ分布が偏り、エッチング装置ではエッチング量のバラツキが生じ、
CVD装置では形成膜厚の異常が発生します。本製品は、フッ素系ゴム（FKM）の表面にNi-Bメッキを施し、EMIシール
ド性を維持しながら繰り返し変形に対して耐久性の高い弾性部品です。プラズマ装置での電磁波シールドやプラズマリ
ーク防止、グランド電位の安定化による装置間差の低減に貢献します。

弾性体素材としては、対エッチングガス性・耐熱性に定評のあるFKMゴム素材で、真空装置に多用されている素材で
す。また電気的な導通を確保するメッキ層としては、Ni-Bメッキを使用しているため、半導体装置内に使用しても汚染
問題など不純物問題を起こしません。一般的に市販されている導電性ゴムには、Agなどの半導体デバイスに悪影響を及
ぼす不純物が含まれており、実使用するには難しいと考えています。

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弾性体ゴムの変形に追従した、繰り返し圧縮に対しても安定した電気抵抗を維持しています。