株式会社ノア リーディング

カーリングプローブは、プローブの先端に付着したデポ物（フィルム状の付着物）の膜厚を計測することが出来ます。

実際にはガラスカバー上に付着した、有機フィルム膜やCVDでのデポ膜などの膜厚を計測することが可能です。

装置管理やクリーニング頻度の確認に利用できます。

上記のような計測方法の応用として、カーリングプローブの前面ガラスに付着した薄いポリイミドフィルムの計測事例
を下記に示します。

この計測は、カーリングプローブのガラスの前面にポリイミド溶液をスプレーで塗布した後、真空乾燥機にて乾燥させ
た時の共振調べたものです。

�@はイニシャルの吸収周波数です。カーリングプローブにポリイミド溶液をスプレー塗布するとカーリングプローブの
前面のガラス面にポリイミド溶液の薄膜が形成されて�Aに示す共振周波数になります。

その後、真空乾燥機でポリイミド溶液の溶剤を気化蒸発させると、ポリイミド溶剤の膜が収縮し、共振周波数の増加と
なって�Bのように計測できます。

この実験では、スプレー塗布をしましたが、実際の製造機器内ではチャンバー内の側壁にカーリングプローブを設置す
ることにより、側壁へのデポ物の膜厚を計測することが出来ます。

この原理によってチャンバー内の堆積物管理が可能になります。チャンバー内のダスト管理や異物管理への応用が期待
できます。