株式会社ノア リーディング

■　プラズマ電子密度測定の原理

…　測定の原理：アンテナのl/4 共振　…




　■　堆積膜のモニタリング　→　壁面のクリ−ニング

 


　■　共振周波数と電子密度の放電パワー依存性



　■　電子密度の径方向分布の測定例