株式会社ノア リーディング

■　プラズマ電子密度の測定

…　プロセスの再現性を得るにはどうすればよいか　…

　■　最新技術 カーリングプローブによる電子密度測定
参考サイズ

プローブヘッドの外径：約10mm
導入パイプの外径：約6.3mm
導入パイプの長さ：150-800mm
標準導入フランジ：NW25  
お手持ちの放電容器に導入ポートがついていれば、簡単にプローブを取り付けつることができます。
　　そのポートの内径とフランジの型をお知らせ下さい。それに合う導入フランジを製作して納めます。

　■　カーリングプローブによる電子密度測定の実験


周波数スペクトルのビデオ映像(放電パワーを変化した例）
パワーを ゼロからゆっくり増加、 1 kWで放電ＯＦＦ、さらに1 kWの放電をＯＮ。

　　パワーによる共振周波数の変化　　


　■ プラズマ動画

　　

　■ 測定動画