株式会社ノア リーディング

　■　新開発した高感度プローブ

従来品の-5.8dBに比べ、高感度品は-27.8dBと約4.7倍の感度を達成

　■　高感度カーリングプローブの開発事例(1)

【大気/真空隔壁型のプラズマプローブを開発中】

カーリングプローブの外形寸法10mmφを用いたガラス円筒での大気/真空隔離したプラズマプローブを開発中です。

高感度アンテナを用いて、ピーク強度の再現性向上を目指しています。

　■　ガラス円筒による大気/真空隔離でのカーリングプローブ感度変化

　■　高感度カーリングプローブの開発事例（２）

【長大アンテナによるプラズマプローブの共振周波数の低周波化を実現】

カーリングプローブのアンテナ長さを長くすることにより、共振周波数を低くすることができます。

共振周波数を低くすることにより、プラズマを検出する感度を改善できます。

アンテナ長さの長いアンテナを開発しプラズマプローブの共振周波数の低周波化を実現しました。