株式会社ノア リーディング


■ ア ン ケ ー ト


… 具体的に御見積りを差し上げるには次の情報が必要です …


  カーリングプローブ購入をご検討の皆様へ
  具体的に御見積りを差し上げるには次の情報が必要です。
  該当項目の□欄にチェック()し、支障のない範囲でご記入願います。


  1. ご使用中のプラズマについてご記入下さい。
  a) 放電の周波数
  □ 直流              □ パルス(パルス幅:    ms、繰返し周波数:     )
  □ 高周波(     MHz)    □ マイクロ波(     GHz)
  b) 放電のタイプ
  □ 容量結合型放電(CCP)      □ 誘導結合型放電(ICP)
  □ マグネトロン型放電       □ 磁場を用いる放電(磁束密度     T)
  c) 放電ガス
  ● ガスの種類:                     
  ● 放電の圧力:                     


  2.そのプラズマを用いて研究開発中の材料プロセスをご記入下さい。
  □ CVD(薄膜堆積)       □ エッチング
  □ アッシング、クリーニング   □ スパッタリング
  □ 表面改質           □ その他(              )


  3.本プローブのセッティングについてお聞きします。
  □ カーリングプローブ(電子密度のみを測定します)
  *電子密度測定にはネットワークアナライザーが必要です。
  通常、それらを含む一式の見積もりをお出ししておりますが、
  □ 手持ちがあるのでそれらは不要   □ それらを含めた一式を希望


  4.プローブ挿入用ポートのフランジについてお尋ねします。
  a) ご使用中の備え付けポートの内径はいくらですか:     mm
  b) そのポートのフランジの型式とサイズ
  □ JIS フランジ:呼び径   インチ、VG(溝付き)と VF(溝なし)のどちら?
  □ CF フランジ:呼び径   インチ
  □ NW フランジ(KF フランジ):呼び径   インチ
  □ その他(具体的にお書き下さい):                        




  5.既設ポートフランジの外面から、測定希望位置までの最大距離は?
  □おおよそ   cm です。
  *これの情報は、プローブ長を決めるのに必要です。(カーリングプローグ取付図参照)


  6.ご希望のプローブの耐熱温度を次の中からお選び下さい。
  □ 約 100℃耐熱
  □ 約 550℃耐熱
  *プラズマプロセス環境下では、プローブの先端ヘッド部の温度がかなり上昇しますので、
   高温に耐える同軸ケーブルを採用する必要があります。


  7.ご希望のプローブヘッド部の外径を次の中からお選び下さい。
  □ 外径 16 mm
  □ 外径 10 mm
  *外径が小さいほど低い電子密度の測定精度は落ちてきます。
   おおまかに言って電子密度が 1×1011 cm-3 より低いプラズマには外径 16 mm のプローブがお勧めです。
   それより高い密度には外径 10 mmのプローブをお勧めします。


  8.プローブからの不純物放出の抑制
  プローブを薄膜で被覆することにより、金属不純物の発生を抑えたり、プローブの誘電体カバーの損耗を防止したり、
  プローブとの間の異常放電を抑制したりすることが可能です。ご希望がありましたら下記の□に?をいれて下さい。
  □ アルミナコーティング    □ イットリア安定化ジルコニアコーティング
  □ イットリアコーティング   □ アルマイト処理


   

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