株式会社ノア リーディング

　　1. ご使用中のプラズマについてご記入下さい。

　　a) 放電の周波数

　　□ 直流　　　　　　　　　　　　　　□ パルス（パルス幅：　　 　ms、繰返し周波数：　　　　　）

　　□ 高周波（　　　　　MHz）           □ マイクロ波（　　　　　GHz）

　　b) 放電のタイプ

　　□ 容量結合型放電(CCP)　　　　　　□ 誘導結合型放電(ICP)

　　□ マグネトロン型放電　　　　 　 　□ 磁場を用いる放電（磁束密度　　　　　T）

　　c) 放電ガス

　　● ガスの種類：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　● 放電の圧力：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　２.そのプラズマを用いて研究開発中の材料プロセスをご記入下さい。

　　□ CVD（薄膜堆積）　　　　　　　□ エッチング

　　□ アッシング、クリーニング　　　□ スパッタリング

　　□ 表面改質　　　　　　　　　　　□ その他（　　　　　　　　　　　　　　）

　　３．本プローブのセッティングについてお聞きします。

　　□ カーリングプローブ（電子密度のみを測定します）

　　＊電子密度測定にはネットワークアナライザーが必要です。

　　通常、それらを含む一式の見積もりをお出ししておりますが、

　　□ 手持ちがあるのでそれらは不要　　　□ それらを含めた一式を希望

　　４．プローブ挿入用ポートのフランジについてお尋ねします。

　　a) ご使用中の備え付けポートの内径はいくらですか：　　　　　mm

　　b) ご希望のフランジの型式とサイズを次の中からお選びください。

　　□ 標準フランジ：NW25

　　□ その他（具体的にお書き下さい）：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　５．既設ポートフランジの外面から、測定希望位置までの最大距離は？

　　□おおよそ　　　cm です。

　　＊これの情報は、プローブ長を決めるのに必要です。（カーリングプローグ取付図参照）

　　６．プローブに組み込まれる同軸ケーブルを次の中からお選び下さい。

　　□ PTFEタイプ（約 100℃耐熱）

　　□ SiO２タイプ（約 500℃耐熱）

　　＊プラズマプロセス環境下では、プローブの先端ヘッド部の温度がかなり上昇しますので、高温に耐える

　　　同軸ケーブルを採用する必要があります。

　　７．ご希望のプローブヘッド部の外径を次の中からお選び下さい。

　　□ 外径 16 mm

　　□ 外径 10 mm

　　＊外径が小さいほど低い電子密度の測定精度は落ちてきます。

　　　おおまかに言って電子密度が 1×10∧¹¹cm-3 より低いプラズマには外径 16 mm のプローブがお勧めです。

　　　それより高い密度には外径 10 mmのプローブをお勧めします。

　　８．プローブからの不純物放出の抑制

　　ステンレス製のプローブを薄膜で被覆することにより、金属不純物の発生を抑えたり、プローブの誘電体カバーの

　　損耗を防止したり、

　　プローブとの間の異常放電を抑制したりすることが可能です。ご希望がありましたら次の中からお選びください。

　　□ 不要　　　　　□アルミナ溶射　　　　　□ イットリア溶射