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カーリングプローブ事業
・DC、RF、マイクロ波プラズマの測定、定常およびパルスプラズマの測定。
・低圧から大気圧までプラズマによる表面改質・CVD・エッチングに対応。
カーリングプローブは、菅井秀郎先生(名古屋大学名誉教授)が発明された製品です。
上記の写真は、株式会社ノアリーディング社が開発した高感度プローブです。