株式会社ノア リーディング

■　高感度カーリングプローブを開発


従来よりも吸収ピークが鋭くなり、吸収周波数の精度が大きく改善しまし、プラズマの挙動を精度よく計測できます。


従来タイプ


⇒
高感度アンテナ


メタル一体型高感度アンテナ


　■　新開発した高感度プローブ



従来品の-5.8dBに比べ、高感度品は-27.8dBと約4.7倍の感度を達成


　■　高感度カーリングプローブの開発事例(1)

【大気/真空隔壁型のプラズマプローブを開発中】
カーリングプローブの外形寸法10mmφを用いたガラス円筒での大気/真空隔離したプラズマプローブを開発中です。
高感度アンテナを用いて、ピーク強度の再現性向上を目指しています。


　■　ガラス円筒による大気/真空隔離でのカーリングプローブ感度変化



　■　高感度カーリングプローブの開発事例（２）

【長大アンテナによるプラズマプローブの共振周波数の低周波化を実現】
カーリングプローブのアンテナ長さを長くすることにより、共振周波数を低くすることができます。
共振周波数を低くすることにより、プラズマを検出する感度を改善できます。
アンテナ長さの長いアンテナを開発しプラズマプローブの共振周波数の低周波化を実現しました。