… プラズマの計測はカーリングプローブにお任せください …
株式会社ノア リーディング社は、株式会社エナック社より技術移転されたカーリングプローブおよびオプトカーリングプローブの製造販売を2018年8月より行うことになりました。 |
■ プラズマを測るのは難しいとあきらめていませんか？ |
Curling Probe
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【取り扱いが容易】 ・プローブを入れてスイッチONするだけ ・プロ―ブが膜で汚れても測れます ・プラズマの密度と光を同時に測ることもできます |
【既存の測定ツールも活用可能】・ネットワークアナライザをお持ちなら プローブ本体だけ購入すれば 測れます・分光器をお持ちなら、光ファイバー内臓のプロ―ブ本体だけを購入 するとプラズマの密度とスペクトルを同時に測れます。 （現在 量産モデル開発中） |
・ＤＣ、ＲＦ、マイクロ波プラズマの測定、定常およびパルスプラズマの測定。 ・低圧から大気圧までプラズマによる表面改質・ＣＶＤ・エッチングに対応。 ＊プラズマの測定・制御等の一般的な課題についても相談にのります。 カーリングプローグは、菅井秀郎先生（名古屋大学名誉教授）が発明し 株式会社エナック社が商品化しました。 |
アメリカ アプライドマテリアルズ、韓国 サムスン電子国内 一部上場企業等 10社以上、名古屋大学等 ２大学、他に引き合い多数。(2018年度までの(株)エナック社の販売実績) |
●ローブ外径（ｍｍ）： １０，１６ｍｍΦ品●耐熱用モデル（550℃）●分光用モデル（開発中）：（光ファイバー内臓）●半導体プロセス用モデル（耐腐食性、メタルフリー） |
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●プローブ挿入用の各種フランジを用意 （VG, KF, NW, ICF, フランジ等） |
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